采用衍射、干涉技术提高光电轴角编码器的测角精度和分辨率

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采用衍射、干涉技术提高光电轴角编码器的测角精度和分辨率

【相关摘要】光电轴角编码器广泛应用于精密角位置的测量、数控及数显系统中,是国内外研究的热点。采用衍射、干涉技术的光电轴角编码器(简称激光编码器)具有结构紧凑、小型化;分辨率和测角精度高;响应频率高等优点。通过对几种激光编码器的成功方案的深入分析,阐述了这项技术的最新进展和所面临的问题。
关键词光电轴角编码器;激光编码器;衍射干涉

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