微电子工艺模拟及器件分析的CA方法研究进展
【相关摘要】综述了用于微电子工艺模拟和器件分析的元胞自动机(CA)方法的研究进展,分析了现有CA方法的优势,并比较了CA方法与其它方法的优缺点。在此基础上,展望了微电子工艺模拟及器件分析的CA方法的发展前景。对研究采用CA方法模拟微电子加工工艺和进行微电子器件分析具有参考意义。
关键词 元胞自动机;微电子;工艺模拟;器件分析;电子器件
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