激光清洗——微电子元件

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激光清洗——微电子元件

【相关摘要】简单介绍了激光清洗在微电子领域应用的优势,分析了激光清洗微电子元件的主要机理以及影响微电子元件清洗的主要因素,最后指出了这方面的应用情况。
关键词细小微粒;近场光学聚焦;紫外激光

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